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MX51的详细说明

  • 发表时间:2021-02-24 14:59:08
  • 来源:未知
  • 人气:
产品特性:
紧凑的设计实现小的占地空间
镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
标配158X158mm手动移动载物台(大可用于200mm晶圆检查)
选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
采用防静电设计,极大方便磁头检查
提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
光学系统:UIS (无限远矫正) 光学系统MX51
显微镜镜体:Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)行程相同:15mm(配合透射光照明)Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)调焦机构张力可调有调焦上限位机构MX51
照明系统:BX-KMA明视场照明器BX-RLA2明视场/暗视场照明器BX-URA2万能照明器MX51
透射照明:明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)
OLYMPUS MX51是一款显微镜,采用防静电设计,无限远矫正光学系统。

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